离子束辅助沉积TiCN多层膜的研究

作者：金杰; 徐志潜; 王锦辉; 明建川; 过骐千; 李刘合

来源：核技术, 2007, 30(12): 1019-1022.

DOI：10.3321/j.issn:0253-3219.2007.12.015

• 离子束辅助沉积
• 晶态
• 多层膜

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多层TiCN膜。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层晶态和非晶态的复合结构;检测到划痕仪划过的划痕十分平滑,显示出晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,结果表明膜层具有较低的摩擦系数。

• 单位
  北京航空航天大学; 北京机械工业自动化研究所; 自动化学院