基于ASPEN PLUS的六氟化硫提纯工艺研究

作者：孙强; 杨典; 王芳; 张晓伟; 付强; 张明亮

来源：云南化工, 2020, 47(09): 41-45.

• 六氟化硫
• 提纯
• ASPEN PLUS

提出了一种适合提纯电子级六氟化硫的低温精馏工艺路线。采用ASPEN模拟软件进行了模拟计算,使用灵敏度分析考察了回流比、进料位置、高低沸采出量等对分离效果的影响。确定了最优工艺操作参数,T1的塔顶采出量设定为3.9kg/h,质量回流比设定为37,进料板在13块板。T2的塔釜采出量设定为0.5kg/h,质量回流比设定为1.2,进料板在20块板。结果表明,本工艺可生产高纯SF6产品,纯度可达99.999%,C2F6和C3F8的分数体积不超过3.2×10-6,满足电子级SF6的使用要求。

• 单位
  洛阳中硅高科技有限公司