为研究多晶硅在微波熔炼中的动态升温特性,优化微波熔炼工艺参数,以多晶硅为原料进行微波熔炼实验,探讨微波功率、物料量和物料粒度等因素对多晶硅在微波场中升温行为的影响。研究结果表明,提高微波功率、减少物料质量,有利于提高物料在微波场中的升温效率;在实验范围内,粒度越小,物料在微波场中的升温速率越快;按重要隶属度排行,功率条件重要度最高,其次是物料质量,粒度对物料升温速率的影响最小。
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