电容式静力水准系统的研制及测试

作者:李朝阳; 汤建军; 亓信同; 朱瑞; 孙彬
来源:中国新技术新产品, 2022, (19): 4-8.
DOI:10.13612/j.cnki.cntp.2022.19.015

摘要

为了满足粒子加速器中垂直位置变化的高精度监测需求,该文研制了电容式静力水准系统,并对其进行指标验证和标定试验。测试结果表明,静力水准系统样机量程可达12 mm,分辨率最高可达1μm,重复性高于0.26%,线性度高于0.45%,长时间的测试结果验证了系统性能。后期将从数据拟合方法和温度补偿2个方面继续优化测量精度。

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