湿法腐蚀硅片并生长氧化锌纳米棒作为太阳能电池减反层研究

作者：王韬; 屈新萍

来源：无机材料学报, 2013, (04): 420-424.

• 减反层
• 四甲基氢氧化铵
• 湿法腐蚀
• 各向异性
• ZnO纳米棒 antireflection layer
• tetramethyl ammonium hydroxide
• wet etching
• anisotropic
• ZnO nanorods

在硅基太阳能电池表面制备减反层可以有效降低硅表面的反射率,提高吸收率,从而提高硅基太阳能电池的光电转换效率。本研究利用四甲基氢氧化铵(Tetramethyl Ammonium Hydroxide TMAH)溶液对(100)单晶硅进行各向异性腐蚀,在表面腐蚀出金字塔结构,得到了最低为6%左右的反射率。然后采用水热法在该衬底生长氧化锌纳米棒,得到了最低小于3%的反射率,比单采用腐蚀或者ZnO纳米棒生长的硅表面的反射率更低。这种减反方法工艺简单、高效,有望得到应用。

• 单位
  复旦大学