准确控制真空镀膜电源的输出功率,确保镀膜厚度一致是镀膜工艺的关键。本文针对现有中频感应加热电源采用移相控制存在的诸多问题,如调整开关频率会引起负载阻抗和相位的强烈变化,造成功率控制不准确、功率因数低、装置繁琐、单体设备无法级联等缺陷。提出了采用扫频调幅控制策略实现,并完成了实际产品的研制。结果表明,采用扫频调幅控制策略实现的真空镀膜电源具有效率高、功率精准控制、加热均匀等优点。
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