针对检测战斗部侵彻过程中加速度信号，控制战斗部最佳位置起爆的需求，开展三轴高g值MEMS加速度传感器结构设计，工艺参数优化、封装、标定和测试，信号提取与处理等研究，突破传感器敏感元件抗高过载高灵敏度结构设计、关键工艺参数优化、抗高冲击金属封装工艺、标定和测试、冲击信号高信噪比和可靠识别等关键技术，具有重要的研究意义和实用价值。
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