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摘要
利用研发的多弧离子镀设备在高速钢基材上制备CrN薄膜，研究偏压参数对CrN薄膜表面形貌和力学性能的影响。结果表明，在偏压参数幅值增加的过程中，薄膜表面大颗粒的数量和尺寸呈现先减小后增大的变化趋势，薄膜硬度和结合力均呈现先增大后减小的变化趋势。残余应力随着偏压参数幅值的增加而逐渐增大。
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利用研发的多弧离子镀设备在高速钢基材上制备CrN薄膜，研究偏压参数对CrN薄膜表面形貌和力学性能的影响。结果表明，在偏压参数幅值增加的过程中，薄膜表面大颗粒的数量和尺寸呈现先减小后增大的变化趋势，薄膜硬度和结合力均呈现先增大后减小的变化趋势。残余应力随着偏压参数幅值的增加而逐渐增大。
