一种真空计及其工作方法

作者：向平华; 徐冬冬; 钟妮; 彭晖; 段纯刚

来源：2019-03-04, 中国, ZL201910160225.6.

本发明公开了一种真空计及其工作方法,该真空计的核心是由三氧化钨薄膜沟道、离子凝胶、源极、漏极及栅极构成的平面薄膜晶体管结构。其中,源、漏极与三氧化钨薄膜沟道两端相连,栅极与沟道隔离,离子凝胶覆盖于沟道表面,并与栅极相连。将源极、漏极及栅极外接电压、电流测试源表,即构成一个完整的真空计。通过对栅极施加较小的偏压,可实现对三氧化钨薄膜沟道电阻的调控,三氧化钨薄膜的阻变幅值与真空度存在明显的线性关系。基于该原理,本发明真空计具有结构简单、配置灵活、量程大、成本低、体积小、能耗少的优点。此外,若采用柔性的云母衬底,该真空计可以在弯曲状态下工作,能够满足内部具有不同几何构造的设备的测试要求。

• 单位
  华东师范大学