实验教学在一流本科工程实践型人才培养中占据着重要的地位，随着集成电路产业的快速发展，传统的实验课程在人才培养方面存在明显不足。为此，文章以现有半导体物理实验课程资源为基础，结合西安电子科技大学多年的实践教学经验，主要在实验教学内容、实验教学平台、实验教学模式以及实验考评体系四个方面进行教学改革。改革证明，新的实验教学模式培养的人才更符合产业的发展需求，更有利于培养学生的实践创新能力、科研思维能力，显著改善教学效果。
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