最新吉时利SMU模块解决了低电流、高电容的棘手测试挑战

来源：电子测量与仪器学报, 2019, 33(11): 154.

<正>Keithley 4200A-SCS参数分析仪模块为拥有高测试连接电容、不稳定低电流测量的应用提供了理想的解决方案泰克科技公司日前宣布,为Keithley 4200A-SCS参数分析仪推出两款最新源测量单元(SMU)模块,即使在由于长电缆和复杂的测试设置而产生高负载电容时,其仍能执行低电流测量。许多主要测试应用都面临着这一挑战,如LCD显示器制造和卡盘上的纳米FET器件测试。在被测器件本身电容很小的情况下,许多低电流测量应用中所需要的测试设置也会增加SMU输出端的电