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摘要
SiC芯片注入激活设备具有高温特点，传统的加热方式通常采用感应式和电阻式加热，采用电阻加热方式具有温度精度高、能耗小等优势。根据SiC高温快速退火设备的特点，深入结合工艺需求，通过采用正向设计手段，对功率计算、材料选型、加热器结构设计、电学参数分配，以及温控系统设计方面进行研究。
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SiC芯片注入激活设备具有高温特点，传统的加热方式通常采用感应式和电阻式加热，采用电阻加热方式具有温度精度高、能耗小等优势。根据SiC高温快速退火设备的特点，深入结合工艺需求，通过采用正向设计手段，对功率计算、材料选型、加热器结构设计、电学参数分配，以及温控系统设计方面进行研究。
