我们知道半导体厂的建造成本非常昂贵,一座芯片厂的投入建造成本大约十亿至百亿。而对于整厂运行成本来说,更是一大笔巨大的经营投入,其中,洁净室的运行一年的成本多则高达几千万。而半导体厂无论大小,建造与运行过程中的技术理论都是相似的。本文阐述洁净室厂务空调系统在运行之前调试到最佳节能状态提出有效而可行的几项对策,可为洁净室业界空调专业做参考与节能实施,值得推广。
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