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摘要
本发明公开了一种基于双层正交网格状分布的边孔光纤光栅表面形貌检测装置及测量方法,属于光纤光栅传感领域。所述形貌检测装置由内部嵌入的边孔光纤光栅传感器阵列和覆盖于阵列外的三层硅胶片组成,重点在于所述边孔光纤光栅传感器阵列编排成双层正交网格状分布,所述硅胶片与被测物表面紧密贴合时可将所在位置处被测物表面的凹凸变化信息转换为边孔光纤光栅传感器的弯曲信息,弯曲使得各传感器反射谱中出现两个反射峰,观测双峰间距的变化,可反演出传感器处边孔光纤弯曲的曲率大小和弯曲方向信息,利用其重建被测物表面形貌。本发明的形貌检测装置具有小型化、防电磁干扰等优势,便于推广使用。
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