声学梳谱信号产生器件的探索

作者：朱昌安; 周勇; 穆晓华; 郑泽渔; 徐阳; 司美菊; 田亚睿; 李晖

来源：压电与声光, 2015, 37(06): 999-1002.

• 声学
• 梳谱信号
• 高次谐波声体波谐振器
• 压电换能器
• 氧化锌薄膜
• 品质因数(Q)值

介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所