摘要

<正>纳米烧结银因具有高熔点、高电导率、高热导率和可以低温无压烧结等优点,被广泛认为是当前最适合第三代功率器件互连的候选材料。高温服役下的疲劳断裂失效是影响其封装互连可靠性的关键因素,如何提高烧结银的服役可靠性一直是该领域关注的前沿和热点。碳纳米管自发现以来,由于其特殊且优异的结构和力学性能,不仅被广泛用作金属基材料增强相,也被用于制造微电子领域中的场发射器、互连结构及传感器等。为了提高碳纳米管与金属基体的相容性和润湿性,通常在碳纳米管的表面进行金属化处理,如包覆镍或银等。