方块电阻测试仪的智能化方案

作者：谢鸿波

来源：真空, 2009, (05): 77-81.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2009.05.029

• 动态监测
• 探针通路
• A/D转换
• 自动量程
• 通讯 dynamic monitoring
• probe path
• A/D conversion
• automatic range
• communication

提出对便携式方块电阻测试仪的内部功能进行智能化的必要性和实验方案,包括:电源的动态监测;探针通路的检测;防止探针击穿样品;智能A/D转换;自动量程转换;数字通讯等。由硬件和软件配合达到智能化的目的。

• 单位
  广州半导体材料研究所