Interbay物料运输系统实时调度方法

作者：夏蓓鑫; 高雅; 曹建斌; 陈甜甜

来源：计量与测试技术, 2019, 46(05): 65-67.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2019.5.018

• 半导体制造系统
• AMHS
• 模糊理论

自动物料运输系统(AMHS)的运行效率对晶圆制造系统有影响。本文提出了一种有效的多目标动态调度方法。首先,建立多目标成本模型,并提出了一种基于模糊理论的改进方法,动态调整成本模型中的权值。采用匈牙利算法对模型进行求解。仿真实验结果表明,与其他调度方法相比,该方法具有更好的综合性能。

• 单位
  上海大学; 自动化学院