声表面波NO_2传感器敏感膜研究进展

作者：向继文; 陈依民; 徐成志; 胡友旺

来源：传感器与微系统, 2012, 31(09): 1-4+13.

DOI：10.13873/j.1000-97872012.09.031

• 声表面波
• NO2传感器
• 敏感膜

由于工业检测、环境监测、医学监测等领域的需求,高性能NO2传感器得到了广泛的研究。声表面波传感器技术的发展为研发高灵敏度、高稳定性、响应快速、小型化的NO2传感器提供了极大的潜能。总结了近30年来声表面波NO2传感器敏感膜的研究现状,并根据现有的研究和传感器的应用需求,深入探讨了声表面波NO2传感器敏感膜面临的挑战和发展趋势。

• 单位
  高性能复杂制造国家重点实验室; 机电工程学院; 中南大学