光刻胶：国产化替代按下“快进键”

作者：罗阿华

来源：中国石油和化工, 2022, (09): 40-41.

<正>8月9日，美国总统拜登在白宫签署了《2022芯片与科学法案》。该法案规定，获得美国国家补贴的芯片企业不能在中国投资28纳米以下制程的生产线，限期10年。法案明确提出建立所谓“中国护栏”，即在美国本土打造一个完全与中国脱钩的、由美、日、韩和台湾地区芯片巨头公司组成的芯片产业链。对此，8月18日中国商务部表示坚决反对。一时间，芯片半导体行业，尤其位于产业中上游的先进技术与工艺再次被推至风口浪尖，光刻胶便是其中之一。皇冠上的明珠光刻工艺是半导体制造的核心工艺，作为光刻工艺最重要的耗材，光刻胶被称为半导体材料皇冠上的明珠，是半导体产业最关键的材料。