基于S7-1200和WinCC的坩埚冷却水循环监控系统

作者:成成; 王洪强; 李阳; 张华标
来源:真空, 2021, 58(05): 85-88.
DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.15

摘要

本文介绍了一种坩埚冷却供水闭式循环监控系统,以西门子S7-1200系列PLC作为控制核心,WinCC 7.3组态软件作为人机界面,目的是为坩埚冷却供水闭式循环系统提供一种安全可靠的监控系统。该系统包括水泵、流量计、压力表、温度计、电磁阀门、压力变送器等,实时监测和控制整个坩埚冷却供水闭式循环系统。该系统已在线稳定运行多年,控制系统安全稳定,人机界面清晰、交互性好、抗干扰能力强,满足线上运行需求。

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