<正>微纳米技术兴起于20世纪80年代,受到了各国政府和学者的普遍重视,已经成为当前科技界的热门研究领域之一。基于微纳米技术的微机电系统(MEMS)作为多学科交叉的前沿技术,获得“中国制造2025”“2035远景目标纲要”和“工业4.0”等战略规划的力推。