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摘要
真空开关是一种以真空作为绝缘介质的开关设备，其绝缘性能取决于其核心部件真空灭弧室的真空度。尽管真空开关已有五十多年的发展历史，但真空开关真空度在线监测依然是一个国际性难题，现有技术手段无法实现可靠的在线监测。本文提出了基于激光诱导等离子体光路复用的真空开关真空度检测方法，获得了同轴成像条件下激光诱导等离子体辐射强度积分随真空度变化的规律，实验结果表明10-4Pa～1Pa范围内等离子体辐射强度积分随真空度单调递减，可用于真空度的表征。针对关键实验参数，研究了延迟时间和激光能量对真空度检测性能的影响，获得了较优的装置设计参数。进一步地利用激光等离子体同轴成像的方法研究了激光等离子体的稳定性，计算了各个气压下激光等离子体辐射强度积分的变异系数，结果显示各气压下激光等离子体辐射强度积分变异系数最大为0.0851，说明激光等离子体具有良好的稳定性和可重复性。
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