基于插值法的MEMS陀螺温度补偿方法

作者：罗华; 芶志平; 冉龙明; 林日乐

来源：压电与声光, 2021, 43(04): 562-565.

• 微机电系统(MEMS)陀螺
• 零偏
• 温度补偿
• 插值法

温度对微机电系统(MEMS)陀螺零偏影响较大,是影响其测量精度的主要因素之一。该文通过温度循环试验,建立了陀螺零偏与温度间的关系。采用多元逐步回归法和温度分段插值法建立了陀螺零偏温度补偿模型。试验结果证明,两种方法均能准确地反映陀螺零偏随温度变化的情况,且温度分段插值法可以消除明显的趋势项。与多元逐步回归法相比,补偿后全温零偏误差的峰-峰值由0.025 (°)/s减小到0.015 (°)/s,全温零偏稳定性由32.9 (°)/h提高到14.2 (°)/h。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所