为了满足微波器件对材料的真空性能越来越高的要求,本文对材料的出气原因、过程以及不同气体在材料内的扩散特点等进行了初步的分析探索,指出材料在保持原有物化特性的基础上,通过表面改性,可以提高其真空品质。最后本文利用经过表面镀TiN膜的不锈钢材料与无镀膜的相同材料,在高温烘排后放出的气体量进行对比试验,结果表明通过TiN覆膜这种表面改性工艺可以提高微波器件材料的真空性能。
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