双探针原子力显微镜针尖对准方法研究

作者：张华坤; 高思田; 李伟; 施玉书; 王鹤群

来源：计量学报, 2015, 36(01): 1-5.

• 计量学
• 双探针
• 原子力显微镜
• 对准方法
• 关键尺寸

双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(CD)测量的影响。测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点,为实现双探针纳米级对准,提出一种渐进式平面扫描方法。首先,通过视觉图像引导两个探针对准到1μm以内。然后,两个探针继续接近,同时探针A在YOZ平面内对探针B扫描成像,并逐步缩小扫描范围和扫描步进,得到其针尖的纳米级坐标(YB,ZB)。最后,将探针A在Y和Z方向分别移动至YB和ZB,在X方向继续接近探针B直至两探针接触。实验证明,该方法可有效地实现双探针对准,且对准精度为10 nm。

• 单位
  中国计量科学研究院; 合肥工业大学