基于ANSYS的多极板电容传感器仿真研究

作者：牛刚; 贾志海; 王经

来源：仪器仪表学报, 2006, 27(3): 280-284.

DOI：10.3321/j.issn:0254-3087.2006.03.015

• 电容传感器
• 有限元
• ANSYS
• 仿真计算

建立了多极板电容传感器的三维有限元仿真数学模型,运用ANSYS软件对不同结构的传感器进行了三维仿真计算,比较分析了无屏蔽电极、UMIST型和METC型三种结构的电容传感器中检测极板间的电位分布,研究了屏蔽电极长度METC型电容传感器检测极板间电位分布的影响.计算了极板内置式和外置式电容传感器的满管、空管电容及其变化量.仿真研究结果为多极板电容传感器的结构设计提供了理论依据.

• 单位
  上海交通大学