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摘要
微流控系统作为微机电系统的一个重要分支，被广泛应用于微尺度环境下的航空航天、生物医疗、化学检测等领域。压电泵作为微流控系统的“心脏”，负责为微流控系统提供动力，体现了微流控系统的发展水平。压电泵将驱动部件、工作部件和控制部件集为一体，有效减少传统泵类中由于不同部件在运动过程中产生的能量损耗，具有体积小、结构简单、能耗低等特点。介绍了近年来国内外关于压电泵的研究成果，并根据压电泵的相关结构、工作模式等方面进行分类、归纳、总结，分析目前压电泵发展过程中存在的主要问题，并从多方面讨论压电泵的性能优化研究，对其潜在的应用前景及发展趋势进行展望，给开展压电泵技术研究提供一定参考。
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单位机电工程学院; 吉林化工学院
