摘要
采用溶胶-凝胶法,制备了Tb3 掺杂的二氧化硅光波导薄膜和玻璃,采用扫描电子显微镜(SEM)对光波导薄膜层进行了表征。SEM观察结果表明,经三层涂覆的薄膜厚度达到1.5μm,多层涂覆对薄膜厚度的调节作用明显,有利于满足模式传输的要求。测试并研究了溶胶-凝胶玻璃的激发和发射光谱。光谱分析表明,365 nm长波紫外光可有效激发SiO2基质,获得SiO2基质的宽谱带本征发射,同时观察到微弱的Tb3 特征发射峰;250 nm短波紫外光可高效激发Tb3 ,获得Tb3 在SiO2基质中的特征发射峰。均匀透明并具有高效可见发光性质的稀土掺杂溶胶-凝胶SiO2薄膜和玻璃在光波导器件研制方面具有良好的应用前景。
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