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摘要
本发明公开了应变、温度及湿度互不敏感的可延展传感器的制备方法,具体包括以下步骤：步骤1：制备湿度传感器；步骤2：制备温度传感器；步骤3：制备双轴应变传感器。步骤4：将上述步骤制备的湿度传感器、温度传感器以及应变传感器依次自上而下对准,在湿度传感器的顶部覆盖一层雕刻有镂空的TPU薄膜,处理后得到封装集成的应变、温度及湿度互不敏感的可延展传感器。本发明所制备的传感器实现每个传感器只对各自的物理刺激敏感,对其他测试干扰刺激进行抑制；在一定程度上够降低外置匹配电路的复杂性。基于其互耦抑制方法能够启发传感器集成设计,使得本方法有益于柔性集成传感部件在柔性表皮电子领域的应用。
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