基于AFM的纳米线沉积加工方法

作者：刘增磊; 焦念东; ***; 王志东; 刘连庆

来源：科学通报, 2013, S2: 200-206.

• 纳米操作
• 纳米沉积
• 原子力显微镜
• 电场加工 nano-manipulation
• nano-deposition
• atomic force microsocpe
• electric field assisted fabrication

纳米器件具有巨大的应用潜力,但是纳米器件中各部件的连接问题是困扰纳米器件加工的一个难题.本文介绍了一种基于AFM的纳米线条沉积加工方法,该方法有望用作纳米器件的焊接手段,改善纳米部件的物理固定和电气连接.采用本文的方法,可以加工连续的纳米线条,而不是通过沉积一排点连通成线.该方法包括两个特点,其一是采用电流诱导沉积发生,而不是电压,实验表明施加电流比施加电压得到的纳米线更加平滑连续;其二,AFM沉积加工是基于场蒸发的原理,因此针尖基底距离是影响场蒸发的重要因素,本文采用了一种简便易行的针尖基底距离控制方法,使沉积加工操作简单易行.

• 单位
  中国科学院大学; 机器人学国家重点实验室; 中国科学院沈阳自动化研究所