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摘要
原子层沉积(ALD)技术能在多孔基底内沉积亚纳米精度的薄膜，从而调节孔道尺寸和界面性质。此类ALD薄膜沉积，同时受到前驱体扩散和反应的影响，这给沉积动力学研究带来了困难。本文对ALD制备ZnO薄膜过程中前驱体在γ-Al2O3基底外表面沉积和孔道内沉积过程建立了模型，并通过数值模拟对表面和孔道两种模型进行了参数敏感性分析，拟合得到沉积物覆盖率公式。结果表明：在表面沉积过程中，随着吸附速率常数ka、吸附态的二乙基锌(DEZ*)向单乙基锌(MEZ)转化速率常数k1、羟基浓度COH的增大，和脱附速率常数kd的减小，基底表面的薄膜沉积加快；对于孔道内沉积过程，较大的羟基浓度COH和较小的扩散系数DS，驱使薄膜沉积在较浅位置；拟合所得解析式能准确预测多孔基底外表面和孔道内的沉积物覆盖率及其分布。
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