金属有机物化学气相法制备YBCO超导薄膜研究

作者：戴邵康; 于淼; 陶伯万; 高磊

来源：低温与超导, 2010, (03): 32-35.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2010.03.016

• 液相传输
• 氧分压
• YBCO高温超导薄膜
• 金属有机物化学气相沉积 Liquid deliver
• O2 partial pressure
• YBCO superconducting thin films
• MOCVD

运用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD),在LaAlO3(LAO)单晶上沉积YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜。通过使用优化的进液装置,使金属有机源连续、稳定地输送至蒸发皿进行闪蒸。通过优化总气压、氧分压等生长条件,获得高质量的YBCO薄膜。在固定的温度条件下,调节反应总气压和氧分压,在总压为380Pa,氧分压为180Pa获得YBCO薄膜临界电流密度Jc=0.6MA/cm2。随着氧分压增大,YBCO薄膜产生a轴取向,(005)峰向左偏移,且薄膜中的Cu/Ba由1.0变化至1.63。在Cu/Ba=1.48时,YBCO薄膜结构与性能较优。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室