提拉速度对溶胶-凝胶法制备氧化锆薄膜均匀性的影响

作者：刘莹; 罗美红; 张秋红

来源：南昌大学学报(工科版), 2016, 38(02): 156-204.

DOI：10.13764/j.cnki.ncdg.2016.02.012

• 氧化锆薄膜
• 溶胶-凝胶
• 提拉速度
• 表面粗糙度

研究了3种不同提拉速度对溶胶-凝胶提拉法制备氧化锆薄膜均匀性的影响。以无机盐氧氯化锆为锆源,制备出澄清透明的溶胶;采用0.4、0.7和1.0 mm/s的提拉速度分别在二氧化硅基底上制备出氧化锆薄膜;经干燥、热处理后运用WYKO表面分析仪对薄膜表面形貌进行表征。结果表明:提拉速度对薄膜表面粗糙度具有重要作用,1.0 mm/s的提拉速度下制备的氧化锆薄膜表面粗糙度较小。

• 单位
  南昌大学机电工程学院