热处理对TiO_2薄膜微观力学性能的影响

作者：杨静凯; 赵洪力; 张福成

来源：硅酸盐学报, 2010, (01): 78-82.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2010.01.007

• 氧化钛薄膜
• 微观力学性能
• 摩擦因数
• 热处理
• 纳米压痕仪 titania film
• micromechanical property
• friction coefficient
• heat treatment
• nanoindentation test

采用喷涂法在5mm普通浮法玻璃上制备了纳米级锐钛矿型TiO2薄膜,并进行了不同温度的热处理。采用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪分析了薄膜的形貌、结构和微观力学性能。讨论了热处理温度对纳米TiO2薄膜微观力学性能的影响。结果表明:随着热处理温度由20℃升高到500℃,薄膜中TiO2均变为锐钛矿型,平均晶粒尺寸略有增加,薄膜表面平整;随热处理温度从350℃升至500℃,平均粗糙度由12.516nm降低至11.433nm;热处理后纳米压痕硬度和弹性模量均有增加,分别由412.6MPa,14.9GPa增加到908.3MPa,28.4GPa;塑性指数逐渐增大,由0.028增大到0.032;摩擦因...

• 单位
  燕山大学; 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室; 材料科学与工程学院