板材卧式真空退火炉作业时，设备要求扩散泵及电极冷却水回水温度≤55℃，但实际冷却水回水温度会持续上升，不能满足设备安全使用要求，存在安全隐患。研究分析真空退火炉升温工艺，设计一种有效实验方法，对冷却水系统的水温、流量进行测试，并对测试数据进行比对分析，采用理论计算与实际测算相结合的方法，设计计算出电极及扩散泵冷却循环系统的制冷功率。
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