基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统

作者：殷冀平; 乔宏; 蔺增^*; 巴德纯

来源：真空, 2020, 57(06): 48-53.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.11

• 朗缪尔单探针处理系统
• Lab VIEW
• 格拉布斯准则
• Savitzky-Golay滤波器
• 电子回旋共振波等离子体放电

朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于Lab VIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzky-Golay滤波器对V-I曲线进行平滑处理,在将离子流排除后,对过渡区曲线进行处理与计算,得到等离子体放电相关参数。使用该套处理系统能够快捷准确地将繁杂的探针数据处理工作变得更为简单,为朗缪尔探针的实际应用提供了基础。使用该套探针处理系统处理了电子回旋共振波等离子体放电随功率变化的V-I曲线并得到准确的结果。

• 单位
  东北大学; 上海卫星装备研究所; 自动化学院