由于测试回路中的杂散电感会在被测器件开通和关断的过程中感应出较高的电压尖峰，增大了被测器件的电压应力，严重影响被测器件相关参数的测试精度，甚至导致被测器件损坏。对高压探针测试系统测试回路中产生杂散电感的原理进行研究，通过仿真分析和优化设计，提出了一种在测试回路中采用叠层母排结构以降低杂散电感的解决办法。
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