新型pH-ISFET芯片系统研究

作者：汪祖民; 任振兴; 韩泾鸿; 边超; 杨海钢; 夏善红

来源：电子与信息学报, 2007, (10): 2525-2528.

• 离子敏场效应管
• 片上系统
• 聚吡咯
• 五氧化二钽
• 敏感膜 Ion Sensitive Field Effect Transistor(ISFET)
• System-On-Chip(SOC)
• Polypyrrole
• Ta_2O_5
• Sensitive membrane

该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H~+敏感PPy膜;与采用低温Ta_2O_5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较。集成芯片具有灵敏度54mV/pH,响应时间0.1s,在pH1～12范围内线性相关系数99.99%的优良性能。

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院研究生院