改造线切割机砂浆喷布系统成功降低砷化镓衬底翘曲度

作者：李穆朗

来源：天津科技, 2019, 46(02): 68-70.

DOI：10.14099/j.cnki.tjkj.2019.02.021

• 翘曲度
• 磨粒
• 切割线
• 空载滑行
• 砂浆喷布系统

砷化镓(Ga As)是继硅之后被研究最深入、应用最广泛的半导体材料,被广泛应用于光电子和微电子领域。2015年年底,中国电子科技信团公司第四十六研究所陆续突破了4英寸SI-GaAs衬底制备的一系列关键技术,使其研制的衬底顺利通过了中国电科55所p HEMT器件验证。目前研制的4英寸SI-Ga As衬底的翘曲度大幅改善,通过对比测试与进口产品基本一致。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所