硼铸铁缸套激光椭圆微坑加工工艺研究

作者：冯琪渊; 刘国东^*; 黎相孟; 丁帅帅; 程浩田

来源：应用激光, 2021, 41(01): 28-34.

DOI：10.14128/j.cnki.al.20214101.028

• 激光刻蚀
• 椭圆微坑
• 填充加工
• 工艺参数
• 微观形貌

采用纳秒脉冲激光器在硼铸铁缸套平面切片进行椭圆微坑阵列加工,研究填充加工方式和工艺参数对椭圆微坑表面形貌的影响规律。结果表明:环形填充较其他三种加工方式能得到更好的表面形貌。微坑长径截面最大深度和微坑长径截面面积随填充线宽减小而增大,最大深度达到218μm。填充线宽大于等于3μm,微坑底部熔融物质明显减少。扫描速度对微坑形貌的影响与填充线宽有关:当填充线宽较小时,深度和面积随着扫描速度的增大先增大后减小,其拐点在400 mm/s;当填充线宽较大时,微坑深度和面积与扫描速度成反比。激光频率对深度和面积的影响有限,最大面积变化率仅为5.61%,其作用主要表现在随着频率的增大,微坑底部更加趋于平缓。

• 单位
  中北大学