匀胶显影设备工艺原理、结构及常见故障分析

作者：任泽生

来源：电子技术与软件工程, 2022, (15): 128-131.

• 涂胶显影
• 喷胶
• 热烘
• 常见故障

本文介绍了匀胶显影技术的特点及原理，在分析介绍其设备种类的基础上，概述了匀胶显影设备的基本结构，详细分析了影响匀胶显影工艺的各种因素，总结了匀胶显影设备的常见故障，并提出了各种故障的处理措施。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所