单电源驱动多路电弧方法对比研究

作者：陈杰; 李陈莹; 靖子洋; 吴淑群^*

来源：真空科学与技术学报, 2022, 42(08): 608-616.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202108026

• 电弧放电
• 滑动电弧
• 多路电弧
• 电弧特性

多路电弧的产生方法对提升材料处理或气体合成的效率具有重要意义，而目前产生多路电弧时通常需要多个电源，显著增加了应用成本。因此，本文重点对比研究了单电源驱动多路电弧的方法，设计了多对电极串联、多对电极并联（支路串联电容）以及多对电极并联（支路串联电容或电感）共三种电路结构，均实现了起弧与电弧稳定维持，并对击穿特性、电弧稳定电压电流特性进行了分析。结果表明：在多对电极串联时，多路起弧与电源输出电压紧密相关，即电极对数越多所需开路电压越高；在多对电极并联（支路串联电容）时，多路起弧与电源输出电流紧密相关，即电极对数越多则所需输出电流越大；在多对电极并联（支路串联电容或电感）时，电路中电感的磁饱和效应造成各元件电压电流的突变，影响各电弧的稳定与功率分配。本文对比研究了单电源产生多路电弧的三种方法，可有效降低应用成本，为电弧在材料处理与气体合成应用提供技术支撑。

• 单位
  南京航空航天大学