基于光锥结构的红外厚度传感器研究

作者：郇帅; 莫长涛; 文晶姬; 吕加; 王明; 李楠

来源：哈尔滨商业大学学报(自然科学版), 2021, 37(05): 595-600.

DOI：10.19492/j.cnki.1672-0946.2021.05.012

• 红外
• 厚度传感器
• 模型
• 生物地理学
• 光锥
• 镀膜

提出一种基于光锥结构的红外厚度传感器,用于样品厚度的检测.给出输出功率与样品厚度、供电电流及供电频率的理论模型,采用生物地理学优化算法对参数进行多参量系统优化,找出最佳参量条件,与实验数据获得的最佳参量基本吻合.根据面型设计理论及高、低折射率交替镀膜技术制作顶角为20°、长45 mm、内表面反射率高达99%的光锥,实现了红外厚度检测中光线的聚集与准直,提高了光电探测器单位面积上接收的光能量,减少了在传统红外厚度检测中光学镜片结构复杂且成本高的不足.结果表明,实验结果与该模型边界条件基本吻合,通过高、低折射率交替镀膜技术实现了一次曲面光锥内表面反射率达99.45%,防止基底缓慢氧化引起的反射率衰减从而影响测量精度.

• 单位
  哈尔滨商业大学