微型气相色谱柱芯片研究进展

作者：张海燕; 赵斌; 曹可; 李磊; 郑丹^*; 冯飞^*

来源：传感器与微系统, 2022, 41(03): 1-6+11.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)03-0001-06

• 气相色谱
• 微机电系统
• 微型气相色谱柱芯片

微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一，决定了其分离性能的好坏。微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料，甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相，从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片。综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展，内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海应用技术大学; 传感技术国家重点实验室