基于Fabry-Perot干涉仪的微型光纤风速仪

作者：郑涵; 吴睿; 林志贤; 林正冲; 程宇恒

来源：传感器与微系统, 2023, 42(11): 89-92.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)11-0089-04

• 光纤风速计
• 法布里-珀罗干涉仪
• 硅薄膜
• 热效应

提出了一种由硅片和单模光纤(SMF)端面组成的法布里—珀罗(Fabry-Perot)干涉仪型风速计。风速计利用硅优越的热学和光学特性，当红外信号通过硅Fabry-Perot干涉仪时，可以通过红色二极管激光器注入的光束对硅Fabry-Perot干涉仪进行加热，而不会受到加热光的任何干扰。当传感器置于较强气流(风)中时，硅片热损失的增加，将会引起Fabry-Perot干涉仪光程的减小，从而导致输出光谱蓝移，风速越高，波长偏移越大。通过调节加热功率，可以改变风速计的响应范围和灵敏度。实验结果表明：在风速为4 m/s时，观察到波长偏移为-0.574 nm。当施加更大的加热功率时，预期会有更好的灵敏度。该传感器具有结构简单、成本低、响应快等特点。