磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究

作者：沟引宁; 孙鸿; 黄楠; 张文英; 冷永祥

来源：摩擦学学报, 2006, (2): 121-124.

DOI：10.3321/j.issn:1004-0595.2006.02.006

• 磁过滤阴极真空弧源
• C/C多层DLC膜
• 摩擦磨损性能

采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Si基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜

• 单位
  西南交通大学