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摘要
针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺。在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试。结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果。
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国人民解放军装甲兵技术学院
针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺。在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试。结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果。
