CMP清洗传输机械手的优化设计

作者：刘福强; 张继静; 吴燕林; 史霄; 李伟

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(06): 64-68.

• 清洗机械手
• 化学机械抛光(CMP)
• 有限元分析

为了提高现有清洗机械手结构的适用性和可靠性,通过调研实际工况和有限元分析,对现有清洗机械手进行结构和尺寸优化。通过优化分析,晶圆的脱片和碎片风险得以降低,清洗机械手的适用性和可靠性得到了实质性提升。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所