基于等比例偏移定量调整的光路准直方法

作者：刘红光; 路瑞军; 李凌梅; 李青; 陈洁; 孙卓

来源：中国测试, 2018, 44(S1): 82-84.

• 激光干涉仪
• 光路准直
• 精密测量
• 等比例偏移

激光干涉仪广泛应用于位移、角度、平面度、直线度、垂直度等领域的测量,在使用过程中传统的光路准直调整方法费时费力,无章可循全凭经验,耗费检测人员大部分精力。该文提出基于等比例偏移定量调整的准直光路方法,提高光路准直调整效率,检测人员可以方便快捷、精准定量、一次性的实现光路调整。

• 单位
  天津市产品质量监督检测技术研究院; 天津市计量监督检测科学研究院